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多晶硅片

156*156多晶硅片标准

产品等级

A级

 

表面状态

1.已清洗,切割表面未腐蚀,无油污,无清洗剂残余;
2.硅片表面无明显手感刀痕,凹坑现象.

缺陷

无裂痕,裂纹,孔洞V

边沿状态

无崩边,硅落,边缘

氧含量

≤1×1018 atoms/cm2

碳含量

≤5×1016 atoms/cm2

线痕

≤15um

导电类型

P型

电阻率

0.5-3ohm*cm

厚度

200+20um

单片厚度变化TTV

≤30um

翘曲度

≤50um

硅片边长尺寸

156+0.5mm

        微晶片

无微晶

雪花晶

无雪花晶

分布晶

无分布晶

光衰减比例

≤2%

 
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